在进行高效检漏、洁净度级别确认等测试之前，我们通常都应先进行风速风量的测试，以确保上述检测结果不合格时可以对其原因进行追溯性判定，同时风速风量测试也是确认洁净室是否达到设计目标的重要指标之一。无论是在国际或国内标准中，风速风量测试都被放在了洁净室必测项目中应优先进行的位置，足见其重要性。
一、检测方法
1、单向流系统应测量风速分布
可用单向流的风速来测定单向流洁净室的性能。可以在靠近终端送风过滤器表面的位置或是在室内测量风速。方法是规定出与送风气流成直角的测量截面，然后把其分成面积相等的测量点（方格单元）
选点位置：应该在距过滤器表面或入口截面约150 mm ~ 300 mm的位置测量风速。
布点数量：测量点（方格单元）的数目很大程度取决于测量用仪器、房间基础设施参数、工艺设备的位置以及所安装过滤器单元的设计。应采用下面公式计算最少测量点（方格单元）数目：
N=√(10×A)
二、设备要求
| 仪器类型 | 仪器名称 | 性能要求 |
|---|
| 风速仪 |
• 热线式风速计
• 叶轮式风速计
• 三维超声波风速计或等效物
• 皮托管和压力计
• 矩阵式：根据气流中某一位置的总压和静压差测量风速。
平均气流网格使用多个管阵列同时测量网格上的气流，并使用多米电子压力计提供平均速度。
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分辨率：0.01 m/s (0.20 m/s-0,99 m/s)；
0.1/s (≥1.00 m/s)
最大误差：0.1 m/s (0.20 m/s-1.00 m/s)；
10% of reading(＞1.00 m/s)
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| 空气流量表 |
• 带有测量装置的风量罩，用于测量气流可能变化的区域的风量，提供该区域的组合风量。
收集并集中总气流，使测量点的速度代表总面积的横截面平均速度。
• 孔板流量计
• 文丘里流量计
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分辨率：0.001 m³/s
最大误差：0.01 m³/s (0 m³/s -0.1 m³/s)；
10% of reading (＞0.1m³/s) |
三、检测间隔
风速风量的最长检测间隔时间不宜超过12个月。
